经过我对于大量的冲蚀凹坑的观察，我对于冲蚀痕迹主要分成了三种，三大类，一个是凹坑型的，就是这种形状。第二种就是这种划痕型的。第三种就是尺度比较小的这种微点坑。从这个我们可以看出来，就是说这两个差别还是比较大的，一个是比较形成圆形，这个就是长条形的。 对于这种我们，对于每一种可以再具体进行一个详细的去分析，因为你的论文里面必然有一些理论的东西，你单纯做实验没有多大价值。 这部分是刚才的凹坑型的冲蚀痕迹，第一类。这种它的特点就是成了比较圆的形状。它实际上我认为是由于比较钝的模粒作用产生的，比较圆一些的球冲击在工件表面会形成这样的痕迹。这个底面是比较粗糙的，它实际上是因为你这个模粒作用在它这个表面上之后，由于工件表面承受压应力的作用，它会形成很多微小裂纹，这些微小裂纹它扩展之后交汇，然后形成一个裂纹网，使材料去除。那你这个裂纹网必然不会在一个平面上，所以它必然是不光滑的一个底面。 这个我不知道大家有没有做过，维氏压痕实验，这个和维氏压痕实验形成的痕迹是非常接近的。它的特点一个就是中间这部分，中间这部分跟这个不一样，它不是圆形的，而且形成三角形或者某一种，有尖角的不规则的形状。这几条裂纹我们按照压痕断裂力学里边的理论来说，它属于径向裂纹。你看它是辐射状的情况，而且是在表面的辐射状情况。我们把它的定义为径向裂纹。这是第二类的特点。它因为非常像我们的维氏压痕实验里的裂纹，所以我用那个理念对裂纹的谐和进行分析。实际上我认为是由于模粒作用在工件表面之后，模粒和工件表面作用的一些位置会产生热力集中，热力集中导致我材料超过了它的强度极限，出现了一些裂纹。 这一类是和前面那两类差别还是比较大，它形成的是一个贝壳状的裂纹。贝壳状裂纹我们看，它实际上两部分，一部分这实际上我认为是一个作用点，就相当于模粒撞的位置，这部分很光滑，光滑在这里面我们认为它是解理断裂面。它的裂纹的谐和过程实际上我们可以用这样的一个理论来看，这个实际上是压痕断裂力学里面一个比较经典的模型。它的实际上“+”表示在加载过程中，“-”表示在卸载过程中。在加载过程中实际上最初的时候，我的材料肯定是弹性变形，随着我加载过程的继续，超过我材料的趋附极限之后，就会出现一定的塑性变形。这个塑性变形随着我加载继续增加，塑性变形区域会越来越大，叫刚塑性核有跟个刚体一样。力再大之后，会在下部形成一定的裂纹，这个裂纹叫做中位裂纹。你看它是从中间形成的，而且向下扩展。我如果继续加载，这个中位裂纹会，这个塑性的区域面积会越来越大，体积会越来越大，同是中位裂纹的扩展深度也会越深。那好，紧接着下一步我就开始卸载了，因为我模粒作用的过程，它在撞击之后可能会反弹，所以会出现一个卸载过程。在卸载的过程，这个作用力会变小，这样的话，因为我刚才中位裂纹是由于压的时候这个力比较大把它硬挤开了，所以我在卸载的时候，这个中位裂纹会闭合。 然后继续卸载的时候，我们知道在塑性区的周围必然会有弹性区，因为塑性区的产生是由于超过了它的趋附极限，它的材料都是先产生弹性变形，如果力再大的话它会产生塑性变形。在塑性区的周围会有弹性变形。我这个力卸载之后，我塑性区这部分不能再变形了，它恢复不了了。而它周围的这个材料是弹性变形的，它要恢复。这样的话这两者就不匹配了，就不协调。 失调之后在这个地方硬撕开产生一个裂纹，这个裂纹叫做侧向裂纹。这个侧向裂纹它的特点，就是它喜欢往表面扩展。也就是说逐渐往工件表面扩展，之后一旦扩展到工件表面之后，你整个这一部分材料都被去除了，就跟个半饼状的，跟个饼一样的，直接剥落出去。它跟我们刚才见到的这个，它的机理，我认为是一致的。也就是说在作用过程中，刚开始的时候也是形成一个弹性变形区，然后塑性核，然后在卸载过程中由于弹塑性失配，导致侧向裂纹的扩展，然后扩展到了表面，然后整个这一片材料都去除了，形成这样一个贝壳状的凹坑。 它为什么很光滑呢？就是因为我们用的是单晶体材料。单晶体材料断裂往往喜欢沿着某一个解理面，沿着某一个晶面断裂，所以它必然光滑。 你这个也能看到黑色的，暗色的条纹，而且这个条纹还不连续的，它实际上是解理台阶。也就是说我这个晶体材料它沿着一个面断，开裂，开裂完之后，因为刚才咱们说了，它往表面扩展，它扩展的时候不是很连续的扩展，它要穿越这个一个表面，到下一个解理面，因为这个解理面是平行的不同晶相的表面。所以它在穿越的过程中会形成这样一个解理台阶。这是这一类型的。 对于这一类型和它的不同在于，它存在一个径向裂纹，其他地方基本一致，也是有这样一个作用点，就是模粒撞在这个位置上了，然后由于力比较大，那么模粒动能比较大，导致侧向裂纹扩展的长度比较长，达到了工件表面，使这部分材料去除，同时产生了一条径向裂纹，它是这样的一个情况

对于第二部分，就是微磨料气射流切割单晶硅切割质量的研究。这部分跟刚才是一样的，我也是做了这样一个表，这样一个图。首先你要说明你做这部分的必要性是什么。你切割质量研究的必要性，你要展示出来，给你的答辩专家或者评委，让他去了解你。然后你要去解决这个问题，你要做的这件事需要解决什么样的问题，需要解决我的工艺参数对于切割质量的影响。因为要解决这个问题，可能要涉及的东西很多，要让答辩专家在短时间里了解你这个论文主要的贡献在什么地方，你不如把关键点直接写出来。所以我就直接写成这样。要解决这个关键点我采用的方法是什么我也写出来。最终得到的结果是什么。其实通过这个表，基本上就知道我这一章做了哪些内容。 这一章因为切割质量的研究涉及到很多东西，我就不一一去说了，我主要找两部分，来给大家做一个大体的介绍。 这个是切割加工参数对于我这个切口形貌的影响，因为我是切了一条缝，这是因为切缝是两条边，是这样的。其中一条边我拍下来是这个样子。从这个上头可以看到，它这个并不是那么平整，并不是那么直的，不像大家想象的切割出来的切缝是非常笔直，一条线。这是为什么？实际上可以用我们刚才冲蚀机理的分析来了解。因为我们材料的去除过程是由于点坑，刚才看到的那类侧向裂纹扩展形成的贝壳状的点坑形成的。那种东西形状各异，角度也不一样，所以你形成的切缝它自然不会是一条直线。 然后从这幅图是这个画虚线框部分的一个放大图，通过这幅图我们也可以看到这些在切缝的边缘它有损伤区。也就是说它反映了什么？假如你要求你的这个加工要求，你切出来的缝它损伤区非常非常小的话，你是不适合用这个加工方法的，因为每一种加工方法都有它的优缺点，你需要了解，根据它的优缺点来选用。 然后这是切缝的底部的形状，就是我切了一个槽，没切透，它的底部是这样一条线，也不是平的，也不是直的，是这样。是一个定性的分析。 紧接着这部分是工艺参数对深宽比的影响。因为你们作为到答辩的时候，我觉得可能大家关注的就是你的这个数据的情况，因为你必须要保证你的数据的真实性。也就是说你做出来的图要规范，比方说这些地方你该怎么去表述，你需要有，就是学位论文答辩手册上，有的可能是画括号，有的可能画一条斜线怎么样，这些都要注意。然后你的图的格式，有的这个地方有边框，有的没有，你们是怎么去，这个都需要注意的，不然的话要被挑出来，你们还是有一定影响，而且要做一些修改的。 通过这个图实际上比你用文字去描述你所分析的切割加工参数对深宽比的影响要明确。深宽比是什么？就是你切割的时候它有一个切割宽度，同时有一个切割深度，就是深度跟宽度的比值。为什么要做这个呢？对于这种微细加工，尤其微细的三维加工，我们很关注这个参数。因为你越往深处加工，你的宽度往往会越大，而到一定时候你就加工不了了。比方这种磨料加工，加工到一定深的时候，这个模粒进去，它的能量就衰减的很厉害，而且底部的磨料它要反弹上来，和你入射的磨料发生碰撞，发生干涉，这样的话到了一定深度之后，它加工非常困难。所以这个深宽比是一个非常重要的参数。 我们分析这个可以通过这幅图来进行分析，分析图的时候我觉得分析内容也很多，因为答辩时间有限的话，可以从三个方面来分析。一个是描述图，第一步，就是你看它是随着气压的增加，你的深宽比增加，这是描述图。第二个分析原因。就是你为什么会出现这种情况？比方说磨料动能，它是由于磨料动能增加，什么什么原因导致的。第三个，就是它的工程应用意义。因为我们是学工科的，它有什么价值。围绕这三个方向分析，这幅图基本上，就应该符合基本上的一些要求。 之后我习惯于再有一个总结性的，就是对于加工参数对深宽比的影响，有一个总结性的话。这个话实际上也是一个工程应用意义，就是我们深宽比怎么去控制它，因为我们研究它的目的是要控制，这是这样。 再一个，就是建立了一些相关的数学模型，比方宽度，因为你要定量地去分析，包括后续要做工艺优化的话也会用到这些模型，宽度、深度、深宽比，还有轮廓形状，我就不一一介绍。我以深宽比为例，来看如果说你的论文里有这样一个模型的话，我的介绍方法，就是还是习惯于直接把最有用，有价值的，有一些对你的，觉得让大家更明白你做的关键点在什么地方的那句话写出来。我的关键就是要确定影响深宽比的主要物理量，因为我前面用冲蚀机理分析的时候，我分析了切割材料去除的情况，实际上根据那个材料去除的机理，它的原因可以建立宽度模型，也可以建立深度模型，让它俩一比就可以得到深宽比模型。因为这个深宽比实际上就是深度除以宽度。但是后来我发现我做出来的宽度模型它是一个隐式方程，也就是说不能化成宽度，比方说用W来表示，它等于什么什么的形式，它是一个积分，然后等于一个常数，就是不能够化成一个显式。这样的话我这个深宽比模型，如果我