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微电子机械系统发展历史
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演讲人:易卫东
分类:科技前沿
发布时间:2011-6-18
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电容器通常简称其为电容,用字母C表示。电容器,顾名思义,是"装电的容器",是一种容纳电荷的...
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微电子机械系统中微加工
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演讲人:易卫东
分类:科技前沿
发布时间:2011-6-18
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微机械制造技术是在硅集成电路制造技术的基础上发展起来的。国外最早的研究始于60年代中期,到...
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微电子机械系统引论技术(上)
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演讲人:易卫东
分类:科技前沿
发布时间:2011-3-6
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微电子机械系统(MEMS)是集精密机械元件、电子器件、传感器和致动器为一体的微型系统,其特征尺...
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微电子机械系统引论加工中心
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演讲人:易卫东
分类:科技前沿
发布时间:2011-2-25
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微电子机械系统是建立在微米/纳米技术基础上的21世纪前沿技术,使之对微米、纳米材料进行设计...
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微电子机械系统引论系统分析
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演讲人:易卫东
分类:科技前沿
发布时间:2011-2-25
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MEMS,即微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和...
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微电子机械系统引论技术(下)
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演讲人:易卫东
分类:科技前沿
发布时间:2011-2-25
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生物传感器是对生物物质敏感并将其浓度转换为电信号进行检测的仪器,是由固定化的生物敏感材料...
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