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易卫东

演讲人

中国科学院研究生院信息科学与工程学院教授，博士生导师

易卫东，中国科学院研究生院信息科学与工程学院教授，博士生导师，研究领域为无线传感网及其应用。科技部国家科技支撑计划项目咨询与监理专家、中国计算机学会无线传感器专业委员会委员，《中国科学》《科学通报》和《通信学报》等学术刊物审稿人，中美自然科学基金"建筑结构健康监测"合作项目中方小组成员。

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微电子机械系统(MEMS)是集精密机械元件、电子器件、传感器和致动器为一体的微型系统，其特征尺寸为微米级至纳米级，整个体积为1mm3级或更小。微电子机械系统制造技术是制造MEMS的一项综合性工艺技术，它包括微型机械制造技术、封装和组装及试验（PAT）技术等。

微电子机械系统引论基本概念（上）

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讲师风采

讲师简介：: 易卫东，中国科学院研究生院信息科学与工程学院教授，博士生导师，研究领域为无线传感网及其应用。科技部国家科技支撑计划项目咨询与监理专家、中国计算机学会无线传感器专业委员会委员，《中国科学》《科学通报》和……

视频简介：: 微电子机械系统(MEMS)是集精密机械元件、电子器件、传感器和致动器为一体的微型系统，其特征尺寸为微米级至纳米级，整个体积为1mm3级或更小。微电子机械系统制造技术是制造MEMS的一项综合性工艺技术，它包括微型机械制造技术、封装和组装及试验（PAT）技术等。

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MEMS必须经过封装和测试后才能组装在工作系统中，实现与宏观环境的连接，真正发挥其特有的性能。PAT还决定与整个系统的坚固性、可靠性和可维护性有关的因素，并控制整个系统的经济性。因此，它是一项重要的基础技术，将与加工技术同时发展。

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