易卫东
演讲人
中国科学院研究生院信息科学与工程学院教授，博士生导师
易卫东，中国科学院研究生院信息科学与工程学院教授，博士生导师，研究领域为无线传感网及其应用。科技部国家科技支撑计划项目咨询与监理专家、中国计算机学会无线传感器专业委员会委员，《中国科学》《科学通报》和《通信学报》等学术刊物审稿人，中美自然科学基金"建筑结构健康监测"合作项目中方小组成员。
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微机械制造技术是在硅集成电路制造技术的基础上发展起来的。国外最早的研究始于60年代中期，到70年代中期出现了颇具特色的硅传感器加工技术，80年代首先发展了整体微机械加工技术和表面微机械加工技术，由此形成了一个独特的制造技术领域。90年代以来，已有了不少较成熟的实用性制造技术和商品化的加工设备。按照工艺特点，可将近十年发展的微机械制造技术分为5种类型，即辅助加工技术、硅微机械加工技术、微模塑技术、三维低成本加工技术和三维纳米加工技术。
微电子机械系统中微加工
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