微电子机械系统引论系统分析

讲师风采
易卫东
中国科学院研究生院信息科学与工程学院教授,博士生导师
讲师简介:
易卫东,中国科学院研究生院信息科学与工程学院教授,博士生导师,研究领域为无线传感网及其应用。科技部国家科技支撑计划项目咨询与监理专家、中国计算机学会无线传感器专业委员会委员,《中国科学》《科学通报》和……
视频简介:
MEMS,即微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。概括起来,MEMS具有以下几个基本特点,微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批量生产。
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段落信息
MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具有新原理、新功能的元件和系统。MEMS技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域,几乎涉及到自然及工程科学的所有领域,如电子技术、机械技术、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等。

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