微电子机械系统引论加工中心

讲师风采
易卫东
中国科学院研究生院信息科学与工程学院教授,博士生导师
讲师简介:
易卫东,中国科学院研究生院信息科学与工程学院教授,博士生导师,研究领域为无线传感网及其应用。科技部国家科技支撑计划项目咨询与监理专家、中国计算机学会无线传感器专业委员会委员,《中国科学》《科学通报》和……
视频简介:
微电子机械系统是建立在微米/纳米技术基础上的21世纪前沿技术,使之对微米、纳米材料进行设计、加工、制造和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统、数字处理系统集成为一个整体单元的微型系统。
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早在60年代,美国就开始微电子机械的研究,到80年代初,微型硅加速度计、微型硅陀螺仪及微型硅静电马达相继问世。1995年,微电子机械市场的规模达到15亿美元,预计2005年仅硅传感器的市场规模可望达到40亿美元。

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